►磁性測量平台系列

磁性測試平台是一具有特殊行程的超精密花崗岩測試平台，在整體行程中，加工精度≤ 2μm，偏差率≤ 1角秒。

更進一步的特點是採用附加軸方式，不與所有纜線和控制線連結，它是以一種”電子傳送”方式來運動，並與主要軸絕對同步，

此裝置主要用於建造粒子加速器時，測量粒子行進軌跡，且測量精度需達到最高標準。

► 平衡實驗平台 BEP-200

平衡測試平台BEP-200是一氣靜壓軸承的多軸平台，專門分析鑽石加工光學表面時的微小不平衡。此裝置可將機座及機器所配備的高精度氣靜壓線性軸承及旋轉軸承的振動完全阻隔，軸的配置相當於在車床中常見的標準T形配置。

該機器配備了市場上最精確的平衡系統，模擬的平衡表現係數可達G = 0.04。

►液靜壓五軸加工中心 MM5X

此機器是一高精度CNC控制的五軸液靜壓軸承的加工中心，專門針對微切削及微結構雕刻而設計。

依據主軸及刀具的不同，鑄鐵、金屬和硬脆材料可被加工至最高精度。自由編程及持續路徑控制可加工出接近光學等級的自由曲面。

使用氣靜壓飛刀切削主軸及使用單晶鑽石刀具切削定義好的幾何邊緣，可以铣削方式加工超精密金屬光學元件。

►庫格勒X-Y-Z龍門加工機

庫格勒X-Y-Z龍門加工機是一氣靜壓軸承的模組系統，具有多種安裝用途。其精密導軌部件可保證其高精度、溫度穩定性、減振及抗扭剛性。各種選項可用於微系統技術(銑削、量測及雷射)，例如光學量測系統、多軸控制或照相系統。